లితోగ్రఫీ మెషిన్ మాస్క్ అలైనర్ ఫోటో-ఎచింగ్ మెషిన్

స్పెసిఫికేషన్

1. ఎక్స్పోజర్ ప్రాంతం: 110mm × 110mm；
2. ★ ఎక్స్పోజర్ తరంగదైర్ఘ్యం: 365nm;
3. రిజల్యూషన్: ≤ 1m;
4. అమరిక ఖచ్చితత్వం: 0.8m;
5.అలైన్‌మెంట్ సిస్టమ్ యొక్క స్కానింగ్ టేబుల్ యొక్క చలన పరిధి కనీసం కలుస్తుంది: Y: 10mm;
6. అమరిక వ్యవస్థ యొక్క ఎడమ మరియు కుడి కాంతి గొట్టాలు X, y మరియు Z దిశలలో విడిగా కదలగలవు, X దిశ: ± 5mm, Y దిశ: ± 5mm మరియు Z దిశ: ± 5mm;
7. ముసుగు పరిమాణం: 2.5 అంగుళాలు, 3 అంగుళాలు, 4 అంగుళాలు, 5 అంగుళాలు;
8. నమూనా పరిమాణం: భాగం, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ నమూనా మందానికి అనుకూలం: 0.5-6mm, మరియు గరిష్టంగా 20mm నమూనా ముక్కలకు మద్దతు ఇవ్వగలదు (అనుకూలీకరించబడింది);
10. ఎక్స్పోజర్ మోడ్: టైమింగ్ (కౌంట్ డౌన్ మోడ్);
11. లైటింగ్ యొక్క ఏకరూపత లేదు: ＜ 2.5%;
12. డ్యూయల్ ఫీల్డ్ CCD అలైన్‌మెంట్ మైక్రోస్కోప్: జూమ్ లెన్స్ (1-5 సార్లు) + మైక్రోస్కోప్ ఆబ్జెక్టివ్ లెన్స్;
13. నమూనాకు సంబంధించి ముసుగు యొక్క కదలిక స్ట్రోక్ కనీసం కలుస్తుంది: X: 5mm;Y: 5mm;: 6º;
14. ★ ఎక్స్పోజర్ శక్తి సాంద్రత: > 30MW / cm2,
15. ★ అమరిక స్థానం మరియు ఎక్స్పోజర్ స్థానం రెండు స్టేషన్లలో పని చేస్తాయి మరియు రెండు స్టేషన్ సర్వో మోటార్ స్వయంచాలకంగా మారతాయి;
16. లెవలింగ్ కాంటాక్ట్ ప్రెజర్ సెన్సార్ ద్వారా పునరావృతతను నిర్ధారిస్తుంది;
17. ★ అమరిక గ్యాప్ మరియు ఎక్స్‌పోజర్ గ్యాప్‌ని డిజిటల్‌గా సెట్ చేయవచ్చు;
18. ★ ఇది నానో ప్రింట్ ఇంటర్‌ఫేస్ మరియు సామీప్య ఇంటర్‌ఫేస్‌ని కలిగి ఉంది;
19. ★ టచ్ స్క్రీన్ ఆపరేషన్;
20. మొత్తం పరిమాణం: సుమారు 1400mm (పొడవు) 900mm (వెడల్పు) 1500mm (ఎత్తు).