లితోగ్రఫీ మెషిన్ మాస్క్ అలైనర్ ఫోటో-ఎచింగ్ మెషిన్

స్పెసిఫికేషన్

1. బహిర్గతమయ్యే ప్రాంతం: 110మిమీ × 110మిమీ;
2. ★ ఎక్స్పోజర్ తరంగదైర్ఘ్యం: 365nm;
3. రిజల్యూషన్: ≤ 1మీ;
4. అమరిక ఖచ్చితత్వం: 0.8 మీ;
5. అలైన్‌మెంట్ సిస్టమ్ యొక్క స్కానింగ్ టేబుల్ యొక్క చలన పరిధి కనీసం దీనికి అనుగుణంగా ఉండాలి: Y: 10mm;
6. అలైన్‌మెంట్ సిస్టమ్ యొక్క ఎడమ మరియు కుడి లైట్ ట్యూబ్‌లు X, y మరియు Z దిశలలో విడివిడిగా కదలగలవు, X దిశ: ± 5mm, Y దిశ: ± 5mm మరియు Z దిశ: ± 5mm;
7. మాస్క్ సైజు: 2.5 అంగుళాలు, 3 అంగుళాలు, 4 అంగుళాలు, 5 అంగుళాలు;
8. నమూనా పరిమాణం: ఖండం, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ నమూనా మందం 0.5-6mm కు అనుకూలం, మరియు గరిష్టంగా 20mm నమూనా ముక్కలకు మద్దతు ఇవ్వగలదు (అనుకూలీకరించినది);
10. ఎక్స్‌పోజర్ మోడ్: టైమింగ్ (కౌంట్‌డౌన్ మోడ్);
11. లైటింగ్ అసమానత: ＜ 2.5%;
12. డ్యూయల్ ఫీల్డ్ CCD అలైన్‌మెంట్ మైక్రోస్కోప్: జూమ్ లెన్స్ (1-5 రెట్లు) + మైక్రోస్కోప్ ఆబ్జెక్టివ్ లెన్స్;
13. నమూనాకు సంబంధించి మాస్క్ యొక్క కదలిక రేఖ కనీసం ఈ క్రింది వాటిని పాటించాలి: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ బహిర్గత శక్తి సాంద్రత: > 30MW / cm2,
15. ★ అలైన్‌మెంట్ పొజిషన్ మరియు ఎక్స్‌పోజర్ పొజిషన్ రెండు స్టేషన్‌లలో పనిచేస్తాయి, మరియు రెండు స్టేషన్ సర్వో మోటార్లు ఆటోమేటిక్‌గా మారతాయి;
16. లెవలింగ్ కాంటాక్ట్ ప్రెజర్ సెన్సార్ ద్వారా పునరావృతమయ్యేలా నిర్ధారిస్తుంది;
17. ★ అలైన్‌మెంట్ గ్యాప్ మరియు ఎక్స్‌పోజర్ గ్యాప్‌ను డిజిటల్‌గా సెట్ చేయవచ్చు;
18. ★ దీనికి నానో ఇంప్రంట్ ఇంటర్‌ఫేస్ మరియు ప్రాక్సిమిటీ ఇంటర్‌ఫేస్ ఉన్నాయి;
19. ★ టచ్ స్క్రీన్ ఆపరేషన్;
20. మొత్తం కొలతలు: సుమారు 1400 మిమీ (పొడవు) 900 మిమీ (వెడల్పు) 1500 మిమీ (ఎత్తు).